两相流动的液氮进入气液分离器以后，气体被排往室外，剩下的就是纯的、不含气体的液氮，温度为-196°C。纯的液氮在重力的作用下通过真空多层绝热低温液体管进入低温夹套。由于最低处液氮存在的静压，所以温度会稍低一点。液氮在低温夹套吸热以后，比重改变，于是更轻的液氮回流至气液分离器内比液面更高的位置。其中的气体被排出，液体则继续使用。
液氮密闭循环系统用于对MBE 设备进行低温冷却，能够保障工艺生长与极限真空，整个系统设计必须能符合 MBE 操作进行的液氮自动循环，提供液氮纯化、氮气液化、和降低液氮损耗功能效果
TSG D0001-2009 《压力管道安全技术监察规程-工业管道》
TSG D2001-2006 《压力管道元件制造许可规则》
TSG D3001-2009 《压力管道安装许可规则》
TSG D7001-2013 《压力管道元件制造监督检验规则》
TSG D7002-2006 《压力管道元件型式试验规则》
从液氮储槽开始到气液分离器之间输送液氮的真空多层绝热低温液体管道、气液分离器和一个或者多个低温夹套之间的供给和回流排气管道组成。1.它包括内筒体、外筒体、进液阀、出液阀、调节阀和控制箱模块等管路配件组成。主要应用于低温工况下，实现工作介质气相和液相的分离，气相达到一定压力通过调压阀减压，从排气口排出室外。液相储存在罐体的内部，底部设置有出液口。出液口通过管段将液相介质流入设备内，给腔室降温或进入冷肼维持低温状态。
工作压力可以根据用户的需求进行精细化设计，容积可以根据设备的流量进行优化选取。
最大允许工作压力：1.6MPa
设计温度：-196℃
容积：30-200升
分离器含6个及以上接口，分器接口为 S1250规格真空插刀，入口为S625规格真空插刀。S1250 接头设计为 TRIAX型，确保可以液氮输送和氮气回流两用，提供MBE和分离器的管道连接活动性必须满足MBE操作时液氮使用量大于50LPH分密器大于20L液氮容量，必须含有流量控制阀、安全阀、液位感应器、液位控制 PLC、液位显示器。
